專題文章:生產用水及超純水的最終拋光選擇
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人們常說的拋光樹脂、核級樹脂、電子級樹脂都是用于取高純水制取無需再生的一次性樹脂,一般用于超純水處理系統末端,來保證系統出水水質能夠維持用水標準。一般出水水質都能達到18兆歐以上,以及對TOC、SIO2都有一定的控制能力。拋光樹脂出廠的離子型態都是H、OH型,裝填后及可使用無需再生。一般用于半導體行業。
常用的品牌有美國羅門哈斯、德國拜爾朗盛等,羅門哈斯的型號有AMBERJET UP6150、AMBERJET UP6040、IRN160等。(UP6150與UP6040的主要區別在TOC和SIO2的處理上,UP6150處理能力能在TOC<=20ppb,SIO2<=5ppb;UP6040可以處理能力在TOC<=15ppb,SIO2<=2ppb),安可立「ACL-UP1810硅芯片級拋光樹脂」高純度(TOC≦5ppb)凝膠型均勻顆粒,混和型樹脂。和ACL-UP2011陰陽離子交換樹脂(H+、OH-)安可立ACL-UP2011是一種經離子均衡化后的混床樹脂,它是由強陽離子交換樹脂與強陰離子交換樹脂混合而成,可直接使用于制程。 ACL-UP2011被用來生產超純水,它可適用于所有需要 TOC、二氧化硅含量低、無二氧化碳的除礦水處理。可以替代UP6150型號樹脂的作用。
該產品作用在生產用水及超純水的最終拋光選擇。
